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> > > 안녕하십니까? > 부산대학교 정윤철교수님 연구실 연구생 박무빈입니다. > > 다름이 아니오라 저희 연구실에서 연구과제 지원으로 인해 구매하는 ebeam lithography 장비에 대한 심의 요청서가 필요하여 견적서를 요청드립니다. > > 견적 요청 전 ebeam lithography 기술사양에 관해 문의사항이 있습니다. > source socket의 용량이 7 ~ 8 cc 정도인지 > substrate stage가 water cooling이 되는지 > lord - lock 적용이 가능한지 > quartz sensor가 범용인지에 관한 기술문의를 드립니다. > > 견적서에 loard-lock, water cooling의 추가시 견적금액과 7cc일때, 8 cc 일때 금액을 적어주시면 감사하겠습니다. 또한 장비 본체에 들어가는 pump (turbo, rotary), gauge, e-beam source, controller 등의 브랜드 정보와 스펙 정보를 같이 적어주시면 감사하겠습니다. > > 감사합니다. > 박무빈 올림. > > > --------------------------------------------- > 부산대학교 정윤철교수님연구실 > email: egnmpm@gmail.com > tel: 010-7168-7107 > >
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