2021년

10월   Rhenium 합성 CVD System | 한밭대학교
05월   High Voltage Reactive Ion Etching System | 한국과학기술원
05월   In-situ Ellipsometry Measurement System with Loadlock chamber | 대전대학교

2020년

12월   E-beam Evaporator System | 포항공과대학교
10월   그래핀 대량 생산용 Thermal CVD with Glove box | TECHNION, Israel Institute of Technology
08월   수소 액화 장치 | 한국전기연구원
08월   XeF2 Etching System | 포항공과대학교

2019년

11월   Multiple target RF Sputtering System with Loadlock chamber | 아주대학교
11월   그래핀 대량 생산용 Reel to Reel PETCVD | 국방과학연구소 (그래핀스퀘어)
10월   10nm 미만 박막 증착용 Reel to Reel Sputtering System | University of North Texas
10월   Encapsulation System | (주)바이오제닉스