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CVD

Thermal CVD system

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작성자 관리자 댓글 0건 조회 242회 작성일 19-02-18 12:59

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· Purpose : Graphene growing / Anealing

· Pump : Rotary Oil pump

· Base pressure : ~10(-3) Torr

· Max, temp : about 1,100 degree C

· Heating method : Furnace

· Gas : Ar, Ch4, H2

· Pressure control : Manual Throttle valuve

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