Thermal CVD system
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작성자 관리자 댓글 0건 조회 1,381회 작성일 19-02-18 12:59본문
· Purpose : Graphene growing / Anealing
· Pump : Rotary Oil pump
· Base pressure : ~10(-3) Torr
· Max, temp : about 1,100 degree C
· Heating method : Furnace
· Gas : Ar, Ch4, H2
· Pressure control : Manual Throttle valuve
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