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안녕하십니까? 부산대학교 정윤철교수님 연구실 연구생 박무빈입니다. 다름이 아니오라 저희 연구실에서 연구과제 지원으로 인해 구매하는 ebeam lithography 장비에 대한 심의 요청서가 필요하여 견적서를 요청드립니다. 견적 요청 전 ebeam lithography 기술사양에 관해 문의사항이 있습니다. source socket의 용량이 7 ~ 8 cc 정도인지 substrate stage가 water cooling이 되는지 lord - lock 적용이 가능한지 quartz sensor가 범용인지에 관한 기술문의를 드립니다.…