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Reactive lon-Etcher

Reactive lon-Etcher

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작성자 관리자 댓글 0건 조회 128회 작성일 19-02-18 14:26

본문

· Purpose : Etching

· Pump : Rotary pump / Turbo pump

· Base pressure : ~10(-6) Torr

· Gas : Ar, O2, SF6, CF4

· Power : RF(13.56MHz, 600W)

· System control by touch panel

· Automatic Pressure control

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