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PVD

E-beam evaporator system

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작성자 관리자 댓글 0건 조회 129회 작성일 19-02-18 14:05

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· Purpose : Thin film deposition

· Pump : Turbo & Rotary pump

· Base pressure : ~10(-7) Torr

· E-gun : 4-pocket, 4 cc

· Power : 6kW with sweep

· Application : film, cloth, flexible sample coating

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