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PVD

RF/DC Sputter system

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작성자 관리자 댓글 0건 조회 142회 작성일 19-02-18 14:01

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· Pump : Turbo & rotary pump

· Base pressure : ~10(-7) Torr

· Max, temp : about 700 degree C

· Heating method : Halogen lamp

· Gas : O2, N2, Ar

· Pressure control : Manual gate valve & MFC or

· Pressure control : Automatic pressure control

· Power : DC(1kW) & RF(13,56MHz, 600W)

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