Thermal CVD
페이지 정보
작성자 관리자 댓글 0건 조회 1,036회 작성일 19-05-21 09:02본문
Model : Thermal CVD50 Dual furnace CVD system
● 2D material [Graphene, CNT, H-BN, MoS2, etc...]
● 자동 공정 압력 조절 시스템
● Program controller
- 3type control : Full automatic control & Semi auto & Manual
- 공정 recipe 설정(공정 재연성 확보)
- 시스템 구성, 동작상황에 대해 시인성 좋은 GUI
- Motor-controlled movable heater for fast heating and cooling
- Temp. controller : PID control (2pattern 20segment, total 40 segment)
댓글목록
등록된 댓글이 없습니다.
