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Thermal CVD

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작성자 관리자 댓글 0건 조회 101회 작성일 19-05-21 09:02

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Model : Thermal CVD50 Dual furnace CVD system 

 ● 2D material [Graphene, CNT, H-BN, MoS2, etc...]

 자동 공정 압력 조절 시스템

 ● Program controller

    - 3type control : Full automatic control & Semi auto & Manual

    - 공정 recipe 설정(공정 재연성 확보)

    - 시스템 구성,  동작상황에 대해 시인성 좋은 GUI

    - Motor-controlled movable heater for fast heating and cooling

    - Temp. controller : PID control (2pattern 20segment, total 40 segment)

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