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CVD

Thermal CVD system

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작성자 관리자 댓글 0건 조회 178회 작성일 19-02-18 13:40

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· Purpose : Graphene growing

· Pump : Rotary Oil Pump

· Base pressure : ~10(-3)Torr

· Max, Temp : about 1,100 degree C

· Heating method : Furnace

· Gas : CH4, H2, Ar

· System by touch screen

· Pressure control : Automatic pressure control

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