Thermal CVD system
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작성자 관리자 댓글 0건 조회 1,208회 작성일 19-02-18 13:40본문
· Purpose : Graphene growing
· Pump : Rotary Oil Pump
· Base pressure : ~10(-3)Torr
· Max, Temp : about 1,100 degree C
· Heating method : Furnace
· Gas : CH4, H2, Ar
· System by touch screen
· Pressure control : Automatic pressure control
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